液态气体
1、高纯液氧
纯 度 | 杂质含量 | Ar | N2 | CH4 | CO2 |
≥99.995% | PPM | 5 | 10 | 2 | 1 |
2、高纯液氩
纯 度 | 杂质含量 | N2 | H2 | O2 | CO2 | CH4 | H20 |
≥99.995% | PPM | 4 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2.6 |
3、纯液氩
纯 度 | 杂质含量 | N | O2 | H2 | 总碳 |
≥99.995% | PPM | 100 | 15 | 5 | 10 |
4、纯液氮
项 目 | 纯 度 | 杂质含量 | O2 |
高纯液氮 | ≥99.995% | PPM | 5 |
纯 液 氮 | ≥99.995% | % | 0.01 |
5、液体二氧化碳
项 目 | 纯 度 |
液体二氧化碳 | ≥99.995% |